半導體先進製程與AI算力快速發展,對製程環境控制與高功耗晶片散熱提出更高要求。宇田控制科技(eyc-tech)深化「半導體製程監控、液冷系統量測、AI算力散熱」三大應用,亮相2026 SEMICON Ta iwan。針對風速風量、溫濕度、露點、差壓及流量等關鍵參數,展現對極微小變化的精密感測能力,讓過去不易察覺的環境與流體波動轉化為即時數據,將既有量測技術延伸至新一代高密度運算應用。
在半導體製程端,宇田控制將精密量測應用於無塵室、CDA壓縮乾燥空氣、製程設備及冷卻水系統,透過極微小流量監測,掌握環境及供氣穩定性;面對AI晶片功耗攀升帶來的散熱挑戰,此次更展示AI液冷監控架構,串聯冷卻水主機、熱交換器、CDU(冷卻液分配裝置)與AI液冷伺服器機櫃,即時掌握液冷系統運轉狀態,將量測點從單一設備延伸至完整散熱迴路。
從半導體製程的「極微小量測」,延伸至AI伺服器液冷的「系統化監控」,宇田控制藉由感測數據串聯設備與系統,使量測不再停留單點數值,成為製程監控、異常判斷及設備管理的數據基礎,進一步凸顯精密量測在先進製程與AI基礎設施中的關鍵角色。